特邀嘉宾

朴惠成

Hyesung Park

教授

韩国高丽大学

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报告主题

超越三维体半导体极限的二维材料

　　在寻求克服三维体半导体若干难题的过程中，过渡金属二硫族化合物（TMDs）等二维半导体引起了广泛关注[1,2]。要以二维半导体材料替代采用三维体半导体的晶体管电子器件，需要综合考虑开发过程中的诸多环节（例如晶圆级合成、适配二维材料的介电材料、图形化技术等）。本报告提出一种简便策略：通过液相前驱体介导的化学气相沉积（CVD）合成大面积二维材料并调控其性质，从而获得基于二维半导体的高性能电子器件。
　　我们通过调控液相前驱体的组成，实现了包括 TMDs、离子晶体和高熵材料在内的多种二维材料的合成。通过在液相前驱体中引入添加剂与掺杂剂，我们成功实现了大面积薄膜生长以及掺杂浓度的精确控制。此外，通过在带有牺牲金属层的预图形化 Ni/SiO2 基底上沉积液相过渡金属前驱体，可借助晶间扩散过程直接在 SiO2 上生长可图形化的 TMDs，从而制备出具有优良功能的 TMDs 基电子器件。

参考文献
[1]、[2]（原文未列出具体文献条目）

个人简介

韩国高丽大学（Korea University）综合能源工程系及 KU-KIST 融合科学与技术研究生院教授。2007 年、2012 年分别在麻省理工学院（MIT）获机械工程硕士与电气工程及计算机科学博士学位，随后在 MIT 从事博士后研究（2012—2013）、在西北大学任博士后研究员（2014）；此前曾任韩国蔚山国立科学技术研究院（UNIST）能源与化学工程学院副教授，后加入高丽大学。研究方向为低维／异维纳米结构材料（石墨烯、过渡金属硫属化物、纳米线等）在高性能能量收集（太阳能电池、水分解、电／光催化）与新兴半导体技术（纳米电子、纳米光子、神经形态计算、传感器）中的应用。与石墨烯相关的代表性成果包括 Nano Letters 系列论文（2010、2012，掺杂石墨烯电极用于有机太阳能电池与石墨烯透明导电电极）、Nano Letters（2014）柔性石墨烯电极有机光伏创纪录效率，以及 Joule（2020）实现效率超过 15% 的聚酰亚胺集成石墨烯电极柔性有机太阳能电池；相关石墨烯透明电极与杂化太阳能电池论文发表于 Nature Nanotechnology、ACS Nano、Advanced Energy Materials 等期刊，累计发表论文逾百篇、被引逾 5000 次。